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下載一種基于雙L型梁的光纖光柵土壓力傳感器的技術資料

文檔序號：8270318

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本發明公開了一種基于雙L型梁的光纖光柵土壓力傳感器，包括：盒體，為餅狀筒形結構，其頂部內表面具有直接感受外界土壓力信號的一個承壓膜片；安裝于盒體內部的兩個支撐軸；安裝于兩個支撐軸上的兩個L型梁，每個L型梁均具有豎直方向部分和水平方向部分；安...
該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。

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