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下載基于相位恢復的4f鏡面檢測成像系統及其方法的技術資料

文檔序號：8189794

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本發明公開一種基于相位恢復的4f鏡面檢測成像系統及其方法，系統包括激光器，減光鏡，顯微物鏡，針孔，被測鏡面，4f成像單元，計算機。4f成像單元包括透鏡1，空間光調制器，透鏡2，CCD相機。激光器發射出來的光經減光鏡，顯微物鏡和針孔后照射到被...
該專利屬于西安電子科技大學所有，僅供學習研究參考，未經過西安電子科技大學授權不得商用。

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