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下載鈷基磁性薄膜電感器及其制作方法的技術資料

文檔序號：45036699

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本發明提供一種鈷基磁性薄膜電感器及其制作方法，屬于半導體器件技術領域。該鈷基磁性薄膜電感器包括：襯底層、磁性層、絕緣層和金屬線圈層。襯底層的材質是玻璃；磁性層設置在襯底層的上表面上，該磁性層的材料為鈷基非晶軟磁材料；絕緣層設置在磁性層的遠離...
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