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提供了一種氣體傳輸組件和半導體處理裝置。該組件包括加熱基座、第一進氣模塊、第二進氣模塊、第一閥塊組、第二閥塊組和出氣模塊，第一進氣模塊嵌設在加熱基座中，第一進氣模塊的內部具有多個第一進氣通道；第二進氣模塊設置在第一進氣模塊的上方，第二進氣模...該專利屬于研微（江蘇）半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過研微（江蘇）半導體科技有限公司授權不得商用。
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