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下載晶圓退火處理設備及退火處理方法的技術資料

文檔序號：17365055

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本發明提供一種晶圓退火處理設備及退火方法，設備包括晶圓存放裝置，用于存放待處理晶圓；預熱裝置，接收晶圓存放裝置中的待處理晶圓并將其加熱至第一溫度；退火腔室，用于接收預熱裝置中的具有第一溫度的待處理晶圓，并將其加熱至退火溫度以對待處理晶圓進行...
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