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下載一種ZnO納米晶薄膜晶體管型紫外探測器的制備方法的技術資料

文檔序號：14945200

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本發明公開了一種ZnO納米晶薄膜晶體管型紫外探測器的制備方法，該紫外探測器自下而上依次有低阻Si層、SiO2絕緣層、ZnO納米晶層和Au電極。其制備方法如下：先制備ZnO納米晶的膠體分散相，然后將膠體分散相旋涂在Si/SiO2的SiO2面上...
該專利屬于浙江大學所有，僅供學習研究參考，未經過浙江大學授權不得商用。

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