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本實用新型涉及一種帶滑軌的用于制備石墨烯的化學氣相沉積裝置,包括一石英管,石英管輸入端通過第一法蘭連接有充氣系統,石英管輸出端通過法蘭分別連接有氣壓調節器和真空系統,石英管外包圍有分段加熱裝置,分段加熱裝置包括第一加熱裝置和第二加熱裝置,第...該專利屬于廈門烯成新材料科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過廈門烯成新材料科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種帶滑軌的用于制備石墨烯的化學氣相沉積裝置,包括一石英管,石英管輸入端通過第一法蘭連接有充氣系統,石英管輸出端通過法蘭分別連接有氣壓調節器和真空系統,石英管外包圍有分段加熱裝置,分段加熱裝置包括第一加熱裝置和第二加熱裝置,第...