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由式（1）表示的含有烴末端基的化合物能夠形成拒水性、滑動性、污垢擦除性、耐磨損性和耐化學品性優異的固化被膜。（R1為可包含O、S、N、Si的碳原子數3～32的一價烴基。R2為H、鹵素原子、羥基、甲硅烷氧基、氨基、硫醇基、一價烴基、R1或...

本發明涉及有機膜形成用組成物、有機膜形成方法、圖案形成方法及聚合物。本發明提供一種基板(晶圓)上的成膜性(面內均勻性)與填埋特性優異、且抑制EBR步驟時的隆起、且用作多層抗蝕劑用的有機下層膜時的處理裕度優異的有機膜形成用組成物、使用該組...

本發明涉及抗蝕劑圖案形成方法。本發明的課題是在使用高能射線的光學光刻中，提供具有使用感度及極限分辨性優良的非化學增幅抗蝕劑組成物，并將曝光后的抗蝕劑膜利用干蝕刻進行顯影而形成正型或負型的抗蝕劑圖案的步驟的抗蝕劑圖案形成方法。本發明的解決...

本發明公開了一種量子點組合物，其為包含因激發光而發出熒光的量子點的量子點組合物，其特征在于，量子點由不含Cd以及Pb的半導體納米粒子核和半導體納米粒子殼構成，量子點表面被金屬氧化物所覆蓋，量子點表面或金屬氧化物表面被膦酸衍生物所修飾。由...

本發明的反射型掩模坯料包括：基板10；以及多層反射膜50，其設置在所述基板10上且用于反射曝光光并且具有包含低折射率層30和高折射率層20的周期層疊結構部51。低折射率層30含有釕(Ru)，并且進一步含有碳(C)和硅(Si)中的一方或雙方。

本發明涉及抗蝕劑組成物及圖案形成方法。本發明的課題為提供在使用高能射線的光學光刻中，感度及極限分辨率優良的非化學增幅抗蝕劑組成物，以及使用該抗蝕劑組成物的圖案形成方法。該課題的解決手段為一種抗蝕劑組成物，含有：下式(1)、(2)或(3)...

本發明涉及負型感光性樹脂組成物、圖案形成方法、硬化被膜形成方法、層間絕緣膜、表面保護膜、及電子零件。本發明的課題：本發明的目的為提供一種感光性樹脂組成物，是能于低溫進行酰亞胺閉環反應，組成物的穩定性優良，能形成微細圖案的使用了聚酰亞胺前...

本發明提供一種導熱性片，其由有機硅組合物的固化物構成，利用ASKER硬度計C型測得的硬度為7以下，以3mm/分鐘的壓縮速度將初期厚度為1.5mm的所述導熱性片壓縮50%時的最大應力為0.7MPa以下、殘留應力為0.1MPa以上，并且所述...

本發明是一種固化性全氟聚醚凝膠組合物，其含有下述（A）成分～（D）成分：（A）10～90質量份的、在一分子中具有兩個以上的烯基的直鏈狀全氟聚醚化合物；（B）10～90質量份的、在分子中不具有烯基的全氟聚醚化合物；（C）固化有效劑量的、在...

本發明涉及抗蝕劑組成物及圖案形成方法。本發明的課題為提供高感度、高分辨率且邊緣粗糙度、尺寸偏差小而曝光后的圖案形狀良好的抗蝕劑組成物、及圖案形成方法。本發明的解決手段為一種抗蝕劑組成物，其含有樹脂(A)、下述式(b1)表示的光分解性淬滅...

本申請涉及鎓鹽、化學增幅抗蝕劑組成物及圖案形成方法。本發明的課題為提供在使用高能射線的光學光刻中，溶劑溶解性優良，為高感度，且為高對比度而且LWR、CDU、MEF、EL、DOF等光刻性能優良的化學增幅抗蝕劑組成物所使用的鎓鹽、含有該鎓鹽...

本發明提供一種多孔質玻璃母材的制造方法，通過使由燃燒器形成的燃燒器火焰產生的玻璃微粒子沉積在以鉛垂軸為中心旋轉的起始材料的前端，并將起始材料向上方提拉，從而形成多孔質玻璃母材，且該制造方法包括如下步驟：用一個或多個相機拍攝起始材料中的玻...

導熱性有機硅組合物，其包含：(A)有機聚硅氧烷、(B)氧化鋁粉末、(C)BET比表面積為1.0～4.0m2/g、平均粒徑0.5～5μm的不規則形狀氮化鋁粉末、和(D)在1分子中含有至少一個由下述通式(1)表示的甲硅烷基、25℃下的粘度為...

本發明涉及鎓鹽、化學增幅抗蝕劑組成物及圖案形成方法。本發明的課題為提供：在使用能量射線的光學光刻中，不論是正型或負型，均為高感度且分辨性優異，可改善線圖案的LWR、孔圖案的CDU、EL、DOF等光刻性能，且可抑制抗蝕劑圖案的倒塌的化學增...

一種表面彈性波器件用復合基板，是具備壓電單晶薄膜、支承基板以及設置在壓電單晶薄膜和支承基板之間的至少一種的間插層的復合基板，間插層與壓電單晶薄膜接觸，間插層的總厚度為表面彈性波的波長的2倍的厚度以下，并且通過布里淵振動法在40GHz~6...

本發明涉及抗蝕劑組成物及圖案形成方法。本發明的課題為提供在使用高能射線的光學光刻中，感度、分辨度及LWR優良、穩定且操作也容易的抗蝕劑組成物，以及提供使用該抗蝕劑組成物的圖案形成方法。該課題的解決手段為一種抗蝕劑組成物，含有：具有金屬原...

提供乳化穩定性優異，涂布時的鋪展良好，使用感優異的化妝料，其含有用下述（b）成分使下述（a）成分溶脹而成的有機硅凝膠，（a）其中二甲基聚硅氧烷用甘油鏈交聯的交聯型甘油改性有機硅、和（b）25℃下的運動粘度為0.5～5mm2/s的油劑。

提供了：含鋱的順磁性石榴石型透明陶瓷，其具有以下性質：當使波長為1064?nm且光束直徑為1.6?mm的激光以甚至升高至160?W的入射功率照射其上時，入射激光束的直徑的最大變化可以保持為10%以下；以及其它。所述含鋱的順磁性石榴石型透...

提供一種能在工業上效率良好地生產且所得到的粒子中的空孔容積受到控制的醋酸羥丙基甲基纖維素琥珀酸酯的制造方法。一種醋酸羥丙基甲基纖維素琥珀酸酯的制造方法，至少包含酯化工序、析出工序、脫液工序、粉碎工序以及干燥工序，其中，在脫液工序中使用螺...

本發明提供一種光掩模坯料，其包括遮光膜，該遮光膜具有高遮光性能和由遮光膜提供的對SPM清洗的高耐性，該遮光膜包括保護層和遮光層，所述保護層設置在距離透明基板的最遠側、由含硅且不含過渡金屬的材料形成，所述遮光層設置在保護層的透明基板一側、...