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射頻RF發(fā)生器，特別是用于等離子體應用的射頻RF發(fā)生器，包括：至少一個冷卻元件，其具有上表面和下表面；至少一個DC電源；至少一個功率級，用于放大RF信號并連接到至少一個冷卻元件的上表面，其中所述功率級包括一個或多個功率放大器；驅(qū)動器，用...

一種特別是用于等離子體應用的射頻發(fā)生器，即射頻發(fā)生器，包括：冷卻元件；至少具有第一輸出端的第一射頻功率級和具有第二輸出端的第二射頻功率級，所述第一射頻功率級和所述第二射頻功率級均安裝到冷卻元件上；安裝到冷卻元件上的射頻組合網(wǎng)絡(luò)，該射頻組...

一種電阻器組件，特別是用于功率組合器，該電阻器組件包括電阻器芯片和用于將電阻器芯片夾緊到冷卻元件的夾緊元件，其中夾緊元件具有用于向電阻器芯片施加壓力的夾緊臂。

印刷電路板結(jié)構(gòu)(10)，特別是用于RF發(fā)生器的印刷電路板結(jié)構(gòu)，包括：熱擴散件(14)；具有上表面(18)和下表面(28)的基礎(chǔ)印刷電路板，即基礎(chǔ)PCB(22)，其中基礎(chǔ)PCB(22)包括下表面處的具有至少一個導體線(24)和/或至少一個...

本發(fā)明涉及一種真空可變電容器(1)，其包括：真空的密封外殼(2)，該外殼用以容納真空介電介質(zhì)，其中，外殼(2)包括第一板(3)和第二板(4)，所述第一板(3)和所述第二板(4)由電絕緣元件(5)隔開；固定電極(6)，其在外殼(2)內(nèi)部附...

本發(fā)明涉及用于機器學習等離子系統(tǒng)中的至少一個不規(guī)則性的檢測的方法，等離子系統(tǒng)特別是RF供電的等離子處理系統(tǒng)，所述方法包括：?提供至少一個輸入信號(210)，每個輸入信號(210)與用于等離子系統(tǒng)的功率遞送系統(tǒng)(1)的模擬信號相關(guān)和/或與...

本發(fā)明涉及一種用于改善射頻系統(tǒng)(1)、特別是射頻功率輸送系統(tǒng)(1)中的數(shù)字信號處理的方法，該方法包括：?提供(101)至少一個輸入信號(210)，優(yōu)選與射頻系統(tǒng)(1)的射頻信號相關(guān)，?執(zhí)行(102)處理程序(310)，其中該至少一個輸入...

一種用于產(chǎn)生優(yōu)選地用于等離子腔室的RF信號的方法，包括以下步驟：基于第一組控制參數(shù)產(chǎn)生輸入RF信號；檢測至少一個失真RF信號；將所述至少一個失真RF信號與輸入RF信號同步，以及；確定目標RF信號與被同步的所述至少一個失真RF信號之間的差...

本發(fā)明描述了一種用于生成各自具有相應的輸出頻率(fi)、相位(Φ

描述了一種射頻發(fā)生器(40)，其包括：包括至少一個功率放大器(42)的功率放大器模塊(41)、與至少一個功率放大器的輸出端連接以生成至少一個拾取信號的至少一個拾取模塊(44)、以及被配置為與至少一個放大器的相應的輸出端連接并被配置為輸出...

提供用于真空電容器的電極單元和真空電容器。用于電真空電容器的電極單元(10，20)包括具有高度H的帶狀電容器極板(11，21)，帶狀電容器極板(11，21)以螺旋卷繞，螺旋具有最大直徑D

本發(fā)明涉及一種真空電容器(1，30)，包括：容納真空介電介質(zhì)的殼體(9)、被所述真空介電介質(zhì)分隔的第一電極(12)和第二電極(13)，該殼體(9)包括與第一電極(12)電接觸的第一傳導軸環(huán)(2)和與第二電極(13)電接觸的第二傳導軸環(huán)，...

一種能夠在MHz范圍內(nèi)在至少50瓦下運行的射頻功率可變電容器。該電容器具有復合HDK

本實用新型提出了一種X射線陰極頭及X射線管設(shè)備，由于這種X射線陰極頭及X射線管設(shè)備，使得燈絲與聚焦杯的對準變得容易。特別地，提出下述X射線陰極頭：其中，燈絲和聚焦杯在組裝時是自對準的。本實用新型的目的是通過下述X射線陰極頭實現(xiàn)的：該X射...

一種射頻(RF)功率放大器，其包括至少一個場效應晶體管FET，其中，該至少一個FET的源極端子接地。包括至少一個二極管，其中，所述至少一個二極管的陰極連接到所述至少一個FET的漏極端子，并且所述至少一個二極管的陽極接地。輸出網(wǎng)絡(luò)連接到所...

本發(fā)明涉及一種定向耦合器(100)，其包括用于接收高功率信號的非直主導線(39)和至少一個耦合元件(38a、38b)。所述主導線(39)布置成在平面P

一種裝置(100)包括：在第一位置處具有射頻(RF)結(jié)構(gòu)(108、114)的電路板(102)，該RF結(jié)構(gòu)由電路板的導電跡線形成；載熱體(118)；以及將電路板(102)和載熱體(118)彼此耦合的多層冷卻結(jié)構(gòu)(116)，該多層冷卻結(jié)構(gòu)(...

本發(fā)明提供了一種射頻功率發(fā)生器，其包括：功率放大器；至少一個采樣器，其被配置為對功率放大器的輸出端處的射頻信號進行采樣；RF輸出端，其被配置為從發(fā)生器輸出RF信號；信號發(fā)生器，其被配置為生成RF輸入信號并將RF輸入信號提供給功率放大器；...

本發(fā)明涉及一種用于對多個脈沖信號進行濾波的濾波器單元，該濾波器單元包括多個并聯(lián)連接的濾波電路。每個濾波電路包括輸入和輸出，其中，輸入被配置為接收輸入信號的幅度，并且輸出被配置為激活輸出信號。每個濾波電路具有指定的濾波器電平，并且還包括脈...

提供了一種包括功率組合器的發(fā)生器。所述功率組合器包括多個輸入，每個輸入可連接到相應的功率放大器，用于接收相應的功率信號。多個阻抗匹配電路分支連接到所述多個輸入中的相應一個輸入。每個阻抗匹配電路分支包括相應的功率信號通過的至少一個高通濾波...